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Sn掺杂ZnO厚膜乙醇气敏特性的研究

张培硕 , 潘国峰 , 甄加丽 , 张炳强

人工晶体学报

采用化学共沉淀法制备了Oat%,5 at%,7at%,9at%四种不同Sn掺杂ZnO前驱体.经退火处理得到不同Sn掺杂的ZnO粉末.通过X射线衍射仪和扫描电子显微镜对不同样品的晶体结构和表面形貌进行表征.利用浸渍法制作气敏元件,并测试其气敏特性.结果表明:Sn掺杂ZnO具有六方纤锌矿结构,尺寸分布均匀,且六棱柱表面呈粗糙多孔状.在65℃工作温度及光照条件下,7at% Sn掺杂ZnO元件对乙醇气体表现出较好敏感特性,响应和恢复时间分别为1 s和5 s,灵敏度达到400.针对气敏特性的改善,结合表面吸附理论和光激活理论对气敏机理进行了进一步探讨.

关键词: Sn掺杂ZnO , 光激活 , 响应-恢复时间 , 气敏机理

缓冲层对溶胶凝胶制备ZnO∶ Sn薄膜性能的影响

范建彬 , 胡跃辉 , 陈义川 , 胡克艳

人工晶体学报

采用溶胶凝胶旋涂法,在石英衬底上引入缓冲层制备ZnO∶Sn薄膜.利用四探针电阻率测试仪、X射线衍射仪(XRD)、光致发光(PL)谱仪、场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)等测试手段对薄膜的微观结构和光电性能进行表征.结果表明:所制样品均呈现六角纤锌矿晶体结构并沿C轴择优生长,薄膜的结晶质量和光电性能达到改善,适当厚度的缓冲层可以有效缓解薄膜和衬底间的晶格失配.随着缓冲层厚度的增加,薄膜的电导率以及在可见光范围的透过率先增大后减小.制备两层缓冲层薄膜性能最优,电阻率达到9.5×10-3 Ω·cm,可见光波段的平均透过率为91%.

关键词: 溶胶凝胶 , Sn掺杂ZnO薄膜 , 缓冲层 , 光电性能

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